此时光刻的效率将严重降低，更别说三百多道工序，将使良品率降低到1‰以下，而造出一块32纳米制程的合格芯片，跟中大奖差不多，没有探索的意义了。

这些测试数据，小赵老师还是比较满意的，45纳米制程是极限。

而在商用上，130纳米制程还是可以保证效率和良品率的，但商用90纳米制程还需要探索。

屈庆麟总师眼光还是比较毒的，他对小赵老师说：“赵总，我们的光刻机是厉害，不过finfet半导体结构才是神，我在德州仪器的时候，新制程需要的攻关的技术可多了，可finfet技术能从一微米制程直接过渡到45纳米……”

屈庆麟伸出手指头边数边说：“一微米，800纳米，500纳米，350纳米……65纳米……45纳米，好家伙，制程提升了十代，半导体结构不变，赵总啊，你这是一招吃遍天下鲜，这finfet半导体结构可真神了！”

屈总师是海外归国人才，在ibm、德州仪器都待过不少年，湾岛出身，加州大学伯克利分校毕业，当然，能进这里，已经审查过很多次了，没有问题。

而赵国庆被屈总师刚才说的话，刺激的心虚，说实话，要是有人认真研究华国这些年在半导体上面的发展的话，他们可以发现，华国的半导体技术是跳跃式发展的。

一个finfet结构，在外人眼里，或许可以归结为走了狗屎运吧，不过在半导体从业人员眼里就不一样，小赵老师已经不是带着大家前进的火车头了，而是火箭头。

但赵国庆不以为意，他说：“这次193纳米步进式光刻机是重大的技术突破，不过国际上技术日新月异，我们也不能懈怠，后续102所光刻机研究室主要工作就是继续研发更稳定的工台系统，其次就是……双工台步进式光刻机……要提上日程！”

屈庆麟第一次听到双工台这个名字，字面上的意思是两個工台，至于什么概念他不知道，但从小赵老师嘴里说出来，肯定是了不得的东西，他疑惑的说：“赵所长，什么叫双工台？”

赵国庆说：“光刻机工作的时候，用在校准上需要十分钟，而光刻上同样需要数十钟，但如果晶圆在一个工台上光刻的同时，另一个工台上的晶圆进行校准是不是可以把这个时间节省出来，晶圆在光刻完成后，另一个晶圆校准好正好可以光刻……”

“……”屈庆麟眉头微皱，仔细思索一番，便了解其中妙处，双工台，一个校准，一个光刻，效率将显著提高，要是良品率可以保证的话，最直接的效果就是产量可以显著上升，而芯片的成本可以继续下探。

赵国庆看屈庆麟一脸难色，笑道：“怎么，怕了？”

屈庆麟摇摇头说：“单工台还没有玩明白呢！赵总，现在研发双工台，是不是有点早？”

“确实，单工台技术主要是吸收asml的技术，有些技术我们只是会做，但不明白为什么asml这么设计！”赵国庆顿了顿说：“但继续深入单工台研究，不影响双工台研究，至少可以做一些前期的探索研究吧！”

屈庆麟说：“赵总，你这么看好双工台技术吗？”

小赵老师点点头，他已经很久没有人质疑他的决定了。

(本章完)