第239章 102所又一次国际震撼

asml研发中心，冯林生正在演示102所激光光源的最新研究成果。

这可不是ppt演示，是实物展示，或者也可以说是技术认定。

氟化氩准分子激光器是一种利用激发态的准分子arf*衰变释放193nm光子的激光装置。其工作原理是相当精妙的，通过放电和反应过程实现光子的放大和放出。

当放电通过ar/f2混合物时，会产生ar+离子和电子。这些电子会与氩原子碰撞并激发它们，使其达到激发态。一旦氩原子被激发，它会与氟分子发生反应，形成激发态的准分子arf*。这个准分子态会在瞬态下自发衰变回未结合的氩和氟原子，在这个过程中，会释放出193nm的光子。

为了将这个激发态的准分子有效放大，并产生激光振荡，激光器内部放置了两个反射镜，形成一个光学腔。这样一来，激发态的准分子会引起受激发射和激光振荡，进一步形成和衰变，释放出更多的193nm光子。这些光子在激光器内不断反射，并与更多的激发态准分子相互作用，产生更多的光子。这个过程不断重复，使得光子数量逐渐增加。

最后，光束通过部分反射输出镜射出，形成一束强大的193nm激光。为了维持持续的激光作用，泵浦保持着所需的电子密度和激发。泵浦的作用是通过外部能源为放电提供足够的能量，以保持激光器的运行。

原理看起来很简单，不过混合物的压力、温度，激发时的电压，振荡器的设置，光学腔的摆放，当然最为核心的就是泵浦，需要在计算机上核算每一秒输出的能量，并控制整个过程中的电压。

就跟核裂变反应差不多，泵浦给的能量少了，氟化氩激光器不能稳定运行，而泵浦给的能量多了，那可能直接把反应堆给爆了……

这些都要建立精确的数学模型进行计算。

而专门为氟化氩光源设计的ssppm固态脉冲功率模块，则完全是102所的黑科技了，双腔体结构准分子激光可以完全兼顾功率与线宽。

当直流充电电压达到800伏特，工作频率达到1千赫兹放电的脉冲上升到90纳秒，脉冲电压则高达16.9千伏……

asml光源研究所总监皮埃路易吉·塔米大呼：“上帝啊，我到底看到了什么？”

外行看热闹，而内行看到这一个个数据，已然看到一座高山，需要仰望的高山。

氟化氩技术路线不是102所提出来的，早在三十年前，就有人发现氟化氩准分子受激发射193纳米激光现象。

全世界都在研究，如何收获稳定而且有着高功率的激光光源。

而拦住的门槛可不止一个，高频泵浦电源以及激光器始终是解决不了的高山。

而双腔同步振荡放大技术则是102所的独创，基本思想是利用mo种子腔获得窄线宽优质种子光。

一般输出能量小，将种子光注入到pa放大腔实现光能量放大，获得窄线宽、大功率的优质激光束输出。双腔固态电源的引入大大提高了准分子激光器件的输出功率。

193纳米紫外线肉眼是看不见的，但探测器可以检测到，不光检测到，还可以测量这束激光的功率。

“67w，功率上下波动在5%以内！”

“……”