第56章 赵中书回来了

对何振华来说，解决一微米制程的需求，远比铜导线要急迫的多，在车上，何振华都迫不及待的提出他们面临的困惑。

这些专业的问题，徐校长还有高所长是没办法加入讨论的。

“高压汞灯发射的紫外线有g线436纳米，i线365纳米，最理想的状态肯定是滤除g线，只保留i线，事实上i线占比太小，我们没办法得到足够功率的i线光源……”

研究光刻机的都知道，波长越短的光线，分辨率越高，这跟光的一项特性有关。

那就是双缝干涉，波长越长，干涉的缝间距越大。

365纳米的i线显然比436纳米的g线具备更大的优势。

但技术上达不到，也只能干瞪眼。

“试一试用水！”

“水?”

什么情况？何振华脑子一脸懵。

赵国庆说：“436纳米光线入水，速度降低大概33%，频率不变的情况下……”

“波长会变短！”何振华声音因为激动，音调变得很高，将所有人的目光吸引过来了。

“国庆，你真是个天才，我怎么没想到，按照这么来计算的话，在水中436纳米的波长，也就相当于326纳米的光线，比起i线365纳米更要优秀！”

赵国庆点点头，好吧，先让你兴奋兴奋，这是二十年后的技术，需要将整个工台浸到水里，光刻的过程也在水中进行。

需要高纯水，还要解决污染问题，相应的光刻胶稳定，介质也要解决，气泡怎么办？还有整个工台的防水处理。

这一个个问题可不怎么容易解决。

但提前二十年能进行浸润式光刻机方面的研究也不是坏事。

希望清大在这一块能有始有终吧。

浸润式光刻在193纳米深紫外线上还将爆发，因为193纳米深紫外线的折射率高达1.44，入水后波长只有134纳米，比起157纳米深紫光源更加优秀。

兴奋过后的何振华看向张朝新主任，微微点头。

眼神中在说：“你看人家简简单单一句话，为我们解决了一个大问题。”

张朝新也是技术出身，对光刻机光源这块的难度有深刻的体会。

光刻机光源难在光源发生器，一定要高功率的光源，能量不够的不行，其二就是棱镜，需要用棱镜的折射过滤掉其他波长的光线，不光在高精加工，还是材料这一块，难度都是顶级的，需要海量的基础物理研究和实验。

而现在，面前的小伙子简简单单一句话，就开辟了一个新思路。

都是道光线入水之后，波长变短，可谁也没想到用在光刻机上啊！

张朝新笑道：“他山之石，可以攻玉，小赵老师一句话，点醒梦中人啊！”

何振华又聊到铜导线技术。

赵国庆摇摇头：“铜导线工艺跟铝导线工艺完全不同，两者物理性质也大相径庭，我有一些思路，不过还需要经过物理方面的论证！”