在此期间,在周万达的一再邀请下,王成业院士将手头的工作,交给了学生,也来到了吊装现场。
“我说小周,你这么急吼吼的把我喊过来,不会就为了让我看这两台吊车吊装设备吧?同样的场景,我这些日子天天看,已经不新鲜了。”
“嘿嘿,老师,我让你看的可不是这些普通设备,真正的惊喜在车间里面呢。走,咱们去换无尘服,进车间去揭晓答案,看到它,保证让你大吃一惊。”周万达也没有揭晓最终答案,毕竟说出来,就不叫惊喜了。
打发走车队和吊车之后,乔瑞达和林孟松也换上无尘服,进入了车间。
王成业院士,围着一个乳白色的集装箱,转了好几圈,这才停下,好奇的询问道:“看这集装箱的尺寸和外部设备,里面装的是光刻机吧?不过这体积是不是太大了一些,比隔壁厂房那台最先进的duv光刻机还要打不少。”
“嘿嘿,老师,您老真是慧眼如炬,这个集装箱里面,装的确实是光刻机,不过具体型号,我就不提前透露了。等过一会儿,环境调节到位,咱们亲自上手,打开它。”周万达抚摸着面前的集装箱,眼神格外灼热。虽然从乔瑞达那里知道了这个集装箱里,装的是euv光刻机,但成熟的euv光刻机到底长得什么样,和阿斯麦公司公开展示的样子是否一致,他依旧充满了好奇。
乔瑞达和林孟松二人是最后进入车间的的,此时安装在车间顶层的大型除尘和空调设备,已经工作了好长一段时间,车间内的环境已经基本达到了无尘,和恒温恒湿要求。王院士和周万达,已经指挥着一众工程师,上手拆卸集装箱了。
有道是人多力量大,上百名工程师,拿着各种工具,一起动手,几个整体吊装进来的集装箱,全部打开,里面的设备,揭开了神秘的面纱,展现在了大家的面前。看到第一台设备,大家就齐齐倒抽一口凉气,为全球变暖做出了一份卓越的贡献。
“extreme ultra-violet,极紫外光刻机,嘶——你确定这个没标错,国内真的能买的到极紫外光刻机。”
“应该是euv光刻机没错了,看这尺寸,看这体积,比duv光刻机大太多了。再来看看这反射镜,看看这复杂的光路,绝对是euv光刻机没跑了。”
“要说还是咱们乔总神通广大,连阿斯麦尚未量产的设备,都能搞得到,真是太利害了。”
“这台光刻机的工件台也太大了吧,难道是为了加工12英寸晶圆设计的?”
“很有可能呀,其实不止是光刻机的工件台大,后面的几台设备,放置晶圆的平台,同样很大。我猜测,这整条芯片生产线,很可能就是按照加工12寸晶圆设计的。”